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SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统
产品概述：
SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统由采样预处理子系统、气体监测子系统以及辅助设备和数据采集与处理子系统等构成，如下图所示。
采样预处理子系统由多路样气传输管、采样泵和分布式多通道采样仪组成，可以对多个点位进行不间断实时采样，并通过管路切换实现不同采样点样气的循环监测。
气体监测子系统由多个分析仪组成，可以根据不同的监测需求进行定制化的搭配，实现不同物质的在线监测。
辅助系统由集成机柜和校准单元组成，可以保证整套系统的正常运行，校准单元可以定期对系统进行校准，保证监测数据的稳定和准确。
数据采集与处理子系统可以监控查询所有测量信息和系统工作状态信息，并将监测数据传输至企业的中控平台。
立即咨询 采样预处理子系统由多路样气传输管、采样泵和分布式多通道采样仪组成，可以对多个点位进行不间断实时采样，并通过管路切换实现不同采样点样气的循环监测。
气体监测子系统由多个分析仪组成，可以根据不同的监测需求进行定制化的搭配，实现不同物质的在线监测。
辅助系统由集成机柜和校准单元组成，可以保证整套系统的正常运行，校准单元可以定期对系统进行校准，保证监测数据的稳定和准确。
数据采集与处理子系统可以监控查询所有测量信息和系统工作状态信息，并将监测数据传输至企业的中控平台。
产品概述
SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统由采样预处理子系统、气体监测子系统以及辅助设备和数据采集与处理子系统等构成，如下图所示。
采样预处理子系统由多路样气传输管、采样泵和分布式多通道采样仪组成，可以对多个点位进行不间断实时采样，并通过管路切换实现不同采样点样气的循环监测。
气体监测子系统由多个分析仪组成，可以根据不同的监测需求进行定制化的搭配，实现不同物质的在线监测。
辅助系统由集成机柜和校准单元组成，可以保证整套系统的正常运行，校准单元可以定期对系统进行校准，保证监测数据的稳定和准确。
数据采集与处理子系统可以监控查询所有测量信息和系统工作状态信息，并将监测数据传输至企业的中控平台。
采样预处理子系统由多路样气传输管、采样泵和分布式多通道采样仪组成，可以对多个点位进行不间断实时采样，并通过管路切换实现不同采样点样气的循环监测。
气体监测子系统由多个分析仪组成，可以根据不同的监测需求进行定制化的搭配，实现不同物质的在线监测。
辅助系统由集成机柜和校准单元组成，可以保证整套系统的正常运行，校准单元可以定期对系统进行校准，保证监测数据的稳定和准确。
数据采集与处理子系统可以监控查询所有测量信息和系统工作状态信息，并将监测数据传输至企业的中控平台。
产品特点
1.采样覆盖面广：多点位同时采样，覆盖面广，成本低，可支持200m点位监测，多点位形成网格化分析体系。
2.轮巡速度快：系统具备预抽功能，节约管路传输等待时间。
3.自由配置通道数量：系统可扩展，可自由配置采样点位数量。
4.样品间干扰小：具备反吹功能.确保各路样品互不影响，低残留。
5.样品超标留样：可搭配超标留样，系统可搭配苏玛罐留样系统，当点位污染超标时自动留样。
2.轮巡速度快：系统具备预抽功能，节约管路传输等待时间。
3.自由配置通道数量：系统可扩展，可自由配置采样点位数量。
4.样品间干扰小：具备反吹功能.确保各路样品互不影响，低残留。
5.样品超标留样：可搭配超标留样，系统可搭配苏玛罐留样系统，当点位污染超标时自动留样。
应用领域
半导体行业检测
